二氧化硅微粉也稱硅灰，通常是冶煉金屬硅或硅鐵合金的副產物。在生產多晶硅及硅鐵的過程中，一部分SiO2被還原為SiO氣體，SiO氣體排出爐外，遇到氧氣又重新被氧化生成二氧化硅微粉。所以，它實際是氣相沉淀法生產的一種氧化硅。

二氧化硅微粉的形貌呈標準圓球形，平均粒徑大小在0.15μm左右，比表面積在15-30m2/g之間，具有較高的化學活性。二氧化硅微粉不可燃，對人體的危害性較小。

二氧化硅微粉中的SiO2的含量在87-98%之間，其化學活性與SiO2的含量有關。一般來說，SiO2的含量越高，其表面積越大，活性也就越高。通常冶煉硅鐵合金所得到的二氧化硅微粉中SiO2含量比金屬硅所得到的二氧化硅微粉要低。而且，不同廠家生產的二氧化硅微粉一般具有較大的化學成分組成差異，導致其化學性質也有較大的差異。例如，與生產金屬硅而收集到的二氧化硅微粉相比，通過用鋯英石生產脫硅鋯時收集到的二氧化硅微粉的平均粒徑相對較小，其包含雜質的堿性氧化物含量較低，導致其在水溶液中的pH值相對較低，在澆注料內部能夠降低澆注料的粘度，使澆注料的流動性得以提高并延長澆注料使用壽命，因而在不定形耐火澆注料中的用量相對較大。